半導體設備與微影技術

半導體資本設備涵蓋薄膜沉積、蝕刻、檢測和微影設備，這些設備能將晶圓製成晶片。最先進的微影設備只有一家供應商，使這個產業成為整個半導體產業的關鍵瓶頸。

21檔股票

#	名稱	持有基金數	成長	成長率	基金價值
1	1 Applied Materials AMAT US$3248億	3,519	+565	+19%	US$4771億
2	2 Lam Research LRCX US$3303億	3,149	+496	+19%	US$4634億
3	3 ASML ASML US$6305億	2,518	+305	+14%	US$1499億
4	4 KLA KLAC US$2163億	2,493	+412	+20%	US$3694億
5	5 MKS Inc MKSI US$145億	778	+157	+25%	US$314億
6	6 Onto Innovation ONTO US$108億	692	+112	+19%	US$183億
7	7 Advanced Energy AEIS US$95.3億	683	+104	+18%	US$150億
8	8 FormFactor FORM US$82億	511	+114	+29%	US$114億
9	9 Axcelis ACLS US$33.5億	443	+63	+17%	US$58.5億
10	10 Ultra Clean Holdings UCTT US$23.1億	438	+107	+32%	US$65億
11	11 Enpro NPO US$59.5億	409	+52	+15%	US$79.5億
12	12 ACM Research ACMR US$37億	376	+75	+25%	US$61.1億
13	13 Nova NVMI US$102億	346	+15	+5%	US$122億
14	14 Ichor Holdings ICHR US$15.8億	331	+80	+32%	US$37.8億
15	15 Veeco VECO US$26.1億	328	+80	+32%	US$52.1億
16	16 Camtek CAMT US$60.4億	235	+12	+5%	US$36.5億
17	17 Amtech Systems ASYS US$2.24億	111	+32	+41%	US$2.42億
18	18 Corgi Lithography & Semiconductor Photonics ETF EUV US$3.87億	35	+35	–	US$1.89億
19	19 CVD Equipment Corp CVV US$2690萬	33	+4	+14%	US$920萬
20	CAJ 20 已下市 Canon, Inc. CAJ	9	+2	+29%	US$612萬
21	21 已下市 Coherent Inc COHR	4	+1	+33%	US$563萬